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F&S Bondtec引線鍵合機
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YXLON XRAY檢測系統(tǒng)FF35 CT
YXLON Cougar EVO Series
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非接觸光學(xué)表面測量系統(tǒng)
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MPCVD微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
MPCVD微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
HHV科研用真空鍍膜系統(tǒng)
TF500/600
Auto500GB
Auto500
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Trion等離子沉積,刻蝕
化學(xué)氣相沉積PECVD系統(tǒng)
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雙腔去膠系統(tǒng)
全自動化等離子系統(tǒng)
THERMCO擴散,退火,LPCVD工藝爐
LPCVD化學(xué)氣相沉積工藝爐
LPCVD化學(xué)氣相沉積工藝爐
TEMESCAL精密電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)
4900/5700型電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)
方腔式電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備
方腔式電子束蒸發(fā)鍍膜設(shè)備
電子束蒸發(fā)設(shè)備BJD/FC-2000
金剛石/碳化硅
MPCVD微波等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
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產(chǎn)品資料
TF500/600
簡介:
HHV TF500及TF600系統(tǒng)設(shè)計具有可靠工藝能力,可以進行
電子束蒸發(fā)
,熱阻蒸發(fā)等物理
氣相沉積
鍍膜。系統(tǒng)配置可選擇多種腔室尺寸和工藝附件,以符合用戶需求。這兩個型號的系統(tǒng)都可以安裝多個鍍膜源,也都支持離子束處理選項。有一系列預(yù)進樣室(Load Lock)和樣品操縱裝置可供選擇,以提高
真空鍍膜
效率。
產(chǎn)品詳情
系統(tǒng)配置不銹鋼真空腔室,高真空泵安裝在腔室后方。工藝附件布局采用可靠設(shè)計,向每個客戶提供滿意適配化的方案。工藝附件包括熱阻及
電子束蒸發(fā)
源、直流及射頻濺射源、用于工件刻蝕或輔助沉積的離子源。系統(tǒng)可以同時配置熱阻、電子束及磁控濺射源。濺射系統(tǒng)可以配置成向上或向下濺射的結(jié)構(gòu)。工件臺選項包括加熱、冷卻、偏壓和預(yù)進樣操作等。
系統(tǒng)控制選項包括穩(wěn)定的PLC真空控制系統(tǒng)配合手動操作的工藝附件的簡單模式,或者計算機集成控制的全自動模式。
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反應(yīng)離子刻蝕的基本原理與應(yīng)用
平行封焊原理
2024年上海國際半導(dǎo)體展覽會 SEMICON CHINA
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